測定結果
- 銅箔単体と誘電体付銅箔をファブリペロー共振器（ブロードバンド、Dバンド）で測定
ここがポイント！
- 誘電体が接着している銅箔でも導電率を評価可能！
- 誘電体の影響を計算で除去することで銅箔単体の導電率が得られる
- 装置を切り替えて測定しても、測定値に段差は見られず23~170GHzまで連続的なデータを取得可能
左図のように、誘電体と銅箔が接着した側の面であっても、界面導電率を評価可能です。導電率計算時に誘電率情報を考慮して導電率を算出します。測定例のように、銅箔単体の場合と誘電体が接着している場合で、同じ導電率が得られました。
※事前に誘電体の厚み・誘電率・誘電正接の情報が必要です。
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システム構成
- 導電率用ファブリペロー共振器 FP-CND-BB/FP-CND-D
- 導電率測定ソフトウェア FP-CND-MA
- ネットワークアナライザ： N5290A（キーサイト・テクノロジー社製）
- Mini VNAX周波数拡張モジュール：N5262BW06（キーサイト・テクノロジー社製）
測定した試料
- 銅箔